一、技术参数

行程范围：X轴------700 mm

          Y轴------800 mm

          Z轴------600 mm

结构型式：活动桥式

传动方式：柔性齿同步带+预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

机台：高精度花岗岩平台

使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m

          温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空气流量：100 L/min – 120 L/min

整机尺寸：1.7 m X 1.9m X 2.7m

机台承重：750 kg

整机重量：950 kg

控制及探针测量系统：

1．驱动系统：直流伺服电机 (日本)

2．控制系统：Renishaw （英国） UCC

3．操作方式：计算机自动控制 + 微电脑操纵盒

4．控制软件：SEREIN DMIS V2.0

5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i（标准配置）

6．测量不确定度（E）：（3+L/300）μm